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发明名称
摘要
申请公布号	JP3161407(B2)	申请公布日期	2001.04.25
申请号	JP19980041954	申请日期	1998.02.24
申请人		发明人
分类号	C23C18/30;(IPC1-7):C23C18/30	主分类号	C23C18/30
代理机构		代理人
主权项
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