铁电薄膜及其形成方法

摘要

本发明提供一种形成铁电薄膜的组合物，利用该组合物形成的铁电薄膜，及形成该铁电薄膜的方法。该组合物包含PZT溶胶-凝胶溶液和Bi₂SiO₅溶胶-凝胶溶液。PZT溶胶-凝胶溶液包括铅(Pb)前体的全部或部分水解产物及Pb前体的全部或部分水解和缩聚的产物中的至少一种；锆(Zr)前体的全部或部分水解产物，Zr前体的全部或部分水解和缩聚的产物，及具有至少一个羟基离子和至少一个不可水解配体的Zr络合物中的至少一种；以及钛(Ti)前体的全部或部分水解产物，Ti前体的全部或部分水解和缩聚的产物，及具有至少一个羟基离子和至少一个不可水解配体的Ti络合物中的至少一种。Bi₂SiO₅溶胶-凝胶溶液包括硅(Si)前体的全部或部分水解产物及Si前体的全部或部分水解和缩聚的产物中的至少一种；及通过回流铋(Bi)前体三苯基铋(Bi(Ph)₃)或Bi(tmhd)₃与C₁-C₁₀烷氧基醇而得到的产物，其中tmhd为2,2,6,6-四甲基庚烷-3,5-二酮化物(dionate)。

主权项

1.一种形成铁电薄膜的组合物，包括锆钛酸铅溶胶-凝胶溶液和Bi2SiO5 溶胶-凝胶溶液，所述锆钛酸铅溶胶-凝胶溶液包括：铅前体的全部或部分水解产物及铅前体的全部或部分水解和缩聚的产物中的至少一种；锆前体的全部或部分水解产物，锆前体的全部或部分水解和缩聚的产物，及具有至少一个羟基离子和至少一个不可水解配体的锆络合物中的至少一种；及钛前体的全部或部分水解产物，钛前体的全部或部分水解和缩聚的产物，及具有至少一个羟基离子和至少一个不可水解配体的钛络合物中的至少一种，以及所述Bi2SiO5溶胶-凝胶溶液包括：硅前体的全部或部分水解产物及硅前体的全部或部分水解和缩聚的产物中的至少一种；及通过回流铋前体三苯基铋Bi(Ph)3或Bi(tmhd)3与C1-C10烷氧基醇而得到的产物，其中tmhd为2，2，6，6-四甲基庚烷-3，5-二酮化物。