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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SELBSTJUSTIERTEN STRUKTUR AUF EINEM HALBLEITER-WAFER
摘要
申请公布号 DE50209782(D1) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE20025009782 申请日期 2002.07.18
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GOLDBACH, MATTHIAS;HECHT, THOMAS;LUETZEN, JOERN;SELL, BERNHARD
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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