| 发明名称 | 半导体集成电路设备及虚拟图案排列方法 | ||
| 摘要 | 根据本发明实施例的一种半导体集成电路设备包括：包括功能电路的功能电路区；在除了功能电路区的区域中形成的虚拟区；以及在虚拟区形成并且具有虚拟扩散层12上的虚拟栅极的多个虚拟MOSFET。排列多个虚拟MOSFET使得在预定部分中将虚拟扩散层和虚拟栅极的数据速率保持恒定。 | ||
| 申请公布号 | CN101038918A | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200710086385.8 | 申请日期 | 2007.03.15 |
| 申请人 | 恩益禧电子股份有限公司 | 发明人 | 北岛弘康;古田博伺;神保敏且 |
| 分类号 | H01L27/04(2006.01);H01L27/092(2006.01);H01L21/822(2006.01);H01L21/8238(2006.01);H01L21/76(2006.01) | 主分类号 | H01L27/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱进桂 |
| 主权项 | 1.一种半导体集成电路设备，包括：在半导体衬底上形成的功能电路区；在半导体衬底上形成的虚拟区；以及在虚拟区中排列的多个虚拟MOSFET，虚拟MOSFET的每一个均具有虚拟扩散区和虚拟栅极区，其中，在预定部分中排列的虚拟扩散区的第一数据速率和在预定部分中排列的虚拟栅极区的第二数据速率实质地恒定。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||