发明名称 |
氧化物烧结体、其制造方法、用它制造透明导电膜的方法以及所得的透明导电膜 |
摘要 |
本发明提供输入高直流电功率也不会产生电弧和裂缝、作为可发生溅射的靶电极而有用的氧化物烧结体,和快速形成氧化物透明导电膜的制造方法以及耐化学试剂性优良的氧化物透明导电膜。提供一种氧化物烧结体,是实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体,锡以Sn/(Zn+Sn)的原子数比计含有0.23~0.50,并且,主要由氧化锌相和锡酸锌化合物相构成;并提供一种氧化物烧结体的制造方法,向含有锡酸锌化合物粉末或者氧化锡粉末与氧化锌粉末的混合粉末的原料粉末中混入水系溶剂,将所得的浆液混合15小时以上后,进行固液分离、干燥、制粒,接着,将该制粒物加入到模板中成形,然后,将所得成形物在焙烧氛围气体中于1300~1500℃下烧结15小时以上。 |
申请公布号 |
CN101038796A |
申请公布日期 |
2007.09.19 |
申请号 |
CN200710079456.1 |
申请日期 |
2007.03.12 |
申请人 |
住友金属矿山株式会社 |
发明人 |
阿部能之;中山德行;小原刚;和气理一郎 |
分类号 |
H01B1/08(2006.01);H01B13/00(2006.01);B22F3/10(2006.01);C23C14/34(2006.01) |
主分类号 |
H01B1/08(2006.01) |
代理机构 |
北京三幸商标专利事务所 |
代理人 |
刘激扬 |
主权项 |
1.一种氧化物烧结体,其特征在于是实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体,锡以Sn/(Zn+Sn)的原子数比计含有0.23~0.50,并且,主要由氧化锌相和锡酸锌化合物相构成,或者由锡酸锌化合物相构成。 |
地址 |
日本国东京都 |