积体电路结构及其形成方法

摘要

本发明提供一种包括熔丝之积体电路结构及其制造方法。积体电路结构包含基板、置于该基板上方之内连线结构、与该内连线结构连接之熔丝、以及位于该熔丝上之抗反射涂层。该抗反射涂层具有一增厚之厚度且作为残余氧化物，且在该抗反射涂层上不存在多余的残余保护层。