Method of Forming a Carbon Polymer Film Using Plasma CVD,申请号KR20070006757-传众专利搜索

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发明名称	Method of Forming a Carbon Polymer Film Using Plasma CVD
摘要
申请公布号	KR100880874(B1)	申请公布日期	2009.01.30
申请号	KR20070006757	申请日期	2007.01.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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