DIRECT LIQUID VAPORIZATION FOR OLEOPHOBIC COATINGS

摘要

본 발명은 PVD 공정을 사용하여 전자 장치 구성 요소의 표면 상에 소유성 성분을 피착하는 액체 증발 공정에 관한 것이다. 소유성 성분을 포함하는 액체 원료가 진공 챔버에 결합되는 액체 공급 시스템 내에 위치될 수 있다. 액체 공급 시스템은 소유성 성분과 공기 사이의 바람직하지 못한 화학 반응을 방지하도록 불활성 가스에 의해 가압될 수 있다. 소유성 성분을 포함하는 액체가 증발 유닛에 도달된 때에 증발될 수 있고, 소유성 성분이 구성 요소 상에 피착될 수 있다.