发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING AN OPTOELECTRONIC COMPONENT AND OPTOELECTRONIC COMPONENT |
摘要 |
광전 소자의 제조 방법에서 제1열 팽창 계수를 가진 성장 기판(10)이 제공된다. 상기 기판상에 복수 층의 버퍼층 시퀀스(11)가 적층된다. 이어서, 층 시퀀스(2)가 에피택시얼 증착되고, 상기 층 시퀀스는 제1열 팽창 계수와는 상이한 제2열 팽창 계수를 가진다. 또한, 층 시퀀스는 전자기 복사의 방출을 위한 활성층을 더 포함한다. 이어서, 상기 에피택시얼 증착된 층 시퀀스(2)상에 캐리어 기판(15)이 제공된다. 성장 기판(10)은 제거되고, 전자기 복사의 아웃커플링을 증대시키기 위해 복수 층의 버퍼층 시퀀스(11)가 구조화된다(17). 마지막으로, 에피택시얼 증착된 층 시퀀스(2)가 접촉된다. |
申请公布号 |
KR101629984(B1) |
申请公布日期 |
2016.06.13 |
申请号 |
KR20117000338 |
申请日期 |
2009.06.09 |
申请人 |
오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 |
发明人 |
로드, 패트릭;스트라스부르그, 마틴;엔글, 칼;호펠, 루츠 |
分类号 |
H01L33/00;H01L33/12;H01L33/22;H01L33/38 |
主分类号 |
H01L33/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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