| 摘要 |
본 발명은 기판처리시스템의 게이트밸브어셈블리에 관한 것이다, 본 발명의 기판처리시스템의 게이트밸브어셈블리는 기판이 입출되는 기판입출구가 각각 형성된 제1챔버와 제2챔버 사이에 배치되는 밸브챔버; 상기 밸브챔버 내에 구비되며 내부에 자석을 포함하고 상기 제1챔버와 상기 제2챔버의 기판입출구를 각각 개폐하는 한 쌍의 게이트밸브;및 상기 한 쌍의 게이트밸브가 상기 기판입출구를 폐쇄하는 폐쇄위치와 상기 폐쇄위치로부터 하강하여 상기 기판입출구를 개방하는 개방위치 간을 승강하도록 상기 한 쌍의 게이트밸브를 지지하는 승강게이트밸브지지부를 포함하고, 상기 승강게이트밸브지지부는 상기 기판입출구 방향으로 직선이동할 수 있도록 상기 한 쌍의 게이트밸브가 설치되는 지지본체; 상기 지지본체에 회동가능하도록 삽입되는 회전축; 및 상기 회전축에 구비되며 자력을 발생시켜 상기 게이트밸브를 직선이동시키기 위한 직선이동용자석을 포함한다. 이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 게이트밸브어셈블리는 이웃하는 챔버를 한 쌍의 게이트밸브를 통해 개방 및 폐쇄하므로 진공과 대기압의 변화에 따른 압력차를 효과적으로 차단할 수 있다. 그리고, 한 쌍의 게이트밸브를 지지본체의 회전에 의해 동시에 개방 및 폐쇄하게 되므로 동작과정이 간결하고 제어과정이 간단할 수 있다. 그리고, 게이트밸브의 직선이동과 회동이 자력에 의해 수행되므로 기계적인 동작에 의해 구현될 경우 발생되는 기판의 오염문제를 미연에 방지할 수 있다. |
