| 主权项 |
1.一种探查光碟母片(3)之方法,包括有:提供一层显影流体(14),使该层之表面接触该光碟母片(3)之表面以显影成该表面;使一光束入射在该光碟母片(3)之该表面的区域上;及研究藉由该表面之该区域处之绕射由该光束(6)所产生之至少一个绕射光束(8,10);其所具之特征在于:该显影流体(14)层之另一表面系与该光碟碟母片隔开之刚体(4,35,50)接触,以使该光碟母片(3)之该表面的至少该区域处该层显影流体(14)之厚度,系由该光碟母片(3)与该删体(4,35,50)间之间隔所决定。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中该至少一绕射光束(8,10)包括有一第一级绕射的光束(8)。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中该至少一绕射光束(8,10)包括有一第一级绕射的光束(8)及 一零级光束(10)。4.根据申请专利范围第1项之方法,其中该刚体(4,35,50)为透明体且至少该光束(6)之一及该至少一绕射光束(8,10)系通过该刚体(4,35,50)。5.根据申请专利范围第1项之方法,其中该至少一绕射光束(8,10)系藉由该光碟母片(3)之该表面的该区域之反射由该光束(6)所产生。6.根据申请专利范围第1项之方法,其中该至少一绕射光束(8,10)系藉由通过光碟母片(3)之该表面的透射,由该光束(6)所产生。7.根据申请专利范围第1项之方法,包括经由喷嘴(34)供给该显影流体(14),该刚体为喷嘴(34)中之一窗。8.根据申请专利范围第1项之方法,其中该光束(6)强度系定期地予以调变。9.根据申请专利范围第1项之方法,其中该光碟母片(3)系涂敷有光阻(3),构成该光碟母片(3)之该表面上前,该光阻系曝露于调变过之光。10.根据申请专利范围第1项之方法,其中该光碟母片于提供该显影流体(14)之该层于其上面时系在转动。11.一种探查光碟母片之支承装置(30,31);于该光碟母片(3)为该支承装置(30,31)所支持时,供给一层显影流体给该光碟母片(3)之一表面的装置;于该光碟母片(3)为该支承装置(30,31)所支持时,供产生一入射在该 光碟母片(3)之该表面的区域上之光束用的光源(5);及于该光束(6)入射在该光碟母片(3)的该表面之该区域上面时,供探测至少一个由该光束(6)所产生之绕射光束用的光探测器(9);其所具之特征在于:刚体(4,35,50)系邻近该支承装置(30,31)予以提供,俾可为该显影流体(14)所接触,以使在该光碟母片(3)的该表面的至少该区域之显影流体(14)的该层之厚度为该光碟母片(3)与该刚体(4,35,50)间之间隔所决定。12.根据申请专利范围第11项之方法,其中该刚体(4,35,50)为透明者。13.根据申请专利范围第11项之方法,其中该刚体为含有该探测器(9)的壳(1)中之一窗。14.根据申请专利范围第11项之方法,其中该窗为蓝宝石者。15.根据申请专利范围第11项之方法,其中该刚体(35)系构成一供给该显影流体(14)用之该装置的一壁。16.根据申请专利范围第11项之方法,其中供给该显影流体(14)用之该装置具有朝向该支承装置(30,31)延伸之喷嘴(34),而该刚体则为该喷嘴(34)的一壁内之透明窗。17.根据申请专利范围第11项之方法,其中中当该光碟母片(3)系支承在该支承装置(30,31)上时,该光源(5)及该探测器(9)系在该光碟母片(3)之同一侧上面。18.根据申请专利范围第11项之方法,其中该探测器(9)及供给该显影流体用之该装置(34)为整体结构。19.根据申请专利范围第11项之方法,具有根据该探测器(9)之输出,控制由该显影流体(14)发展成该表面之进度用的控制装置(110至128),该控制装置(110至128)经了排列,使可定期地调整来自该光源(5)之该光束之强度。20.根据申请专利范围第11项之方法,其中该支承装置(30,31)为可转动者,藉以转动该光碟母片(3)。图示简单说明第1图所示为一在表面所绕射之各光束指向图案;第2图所示为简要地本发明的一般原理之光学传感装置;第3图所示为依据本发明之实施例的光学传传装置;第4图所示为结合第3图之显影装置的全面视图;第5图所示为光学传感器及一邻近分配喷嘴的详图;第6图所示为为依据本发明第二实施例之一组合光学传感器及分配喷嘴;第7图为依据本发明第三实施例之组合光学传感器及分配喷嘴;第8图所示为为回应光学传感装置之输出,控制成长程序用之电子系统的方块图;及第9图所示为回应光学传感装置之输出,更准确地控制成长程序的第8图之电子系统的精 |
