用于生物实体的光学检测

摘要

本发明涉及用于生物实体的光学检测。本公开描述了用于操作和处理生物实体样本的集成半导体器件和方法。器件包括下衬底、至少一个设置在下衬底上的光信号导管、至少一个设置在下衬底上的保护接合焊盘、配置以形成保护区域的保护件（设置在至少一个保护接合焊盘上）、微流体通道（其中微流体通道的第一侧在下衬底上形成且微流体通道的第二侧在保护件上形成）、与传感器控制电路相连的光传感器阵列、以及与流体控制电路、和传感器控制电路相连的逻辑电路。

主权项

一种集成半导体器件，用于操作和处理生物实体样本，所述器件包括：下衬底；至少一个光信号导管，设置在所述下衬底上；至少一个保护接合焊盘，设置在所述下衬底上和部分所述光信号导管的上方；保护件，包括上衬底且被配置以形成被保护区域，并且设置在所述至少一个保护接合焊盘上，其中，所述至少一个光信号导管从所述被保护区域的外侧延伸至所述被保护区域的内侧；微流体通道，所述微流体通道的第一侧形成在所述下衬底上，所述微流体通道的第二侧形成在所述保护件上，所述保护件连接至所述下衬底以便为包含所述生物实体样本的液滴提供所述微流体通道，所述微流体通道连接至流体控制电路；光传感器阵列，连接至传感器控制电路；以及逻辑电路，连接至所述流体控制电路和所述传感器控制电路，其中，在所述下衬底上形成所述流体控制电路、所述传感器控制电路和所述逻辑电路。