鱼类生物机器人的可植入式柔性神经微电极及其制备方法

摘要

本发明提供了一种鱼类生物机器人的可植入式柔性神经微电极及其制备方法，包括：柔性微电极、金属丝和聚乙二醇，其中：柔性微电极为采用聚合物薄膜作为衬底的三明治结构、且含有至少两个电极脚，柔性微电极电极点采用电镀进行表面修饰，金属丝与柔性微电极电极脚利用聚乙二醇结合。本发明利用金属丝具有较强的刚度的特点，把柔性微电极与金属丝通过水溶性聚合物聚乙二醇结合，在电极进行脑组织植入时增强电极机械强度，植入后取出金属丝。本发明利用金属丝和水溶性聚合物聚乙二醇作为导引，解决了柔性电极脑组织植入刚度不足的问题，因为聚乙二醇在组织中水解，金属丝可在植入后取出，尽可能减小了对脑组织的破坏。

主权项

一种鱼类生物机器人的可植入式柔性神经微电极的制备方法，其特征在于，所述可植入式柔性神经微电极包括：柔性微电极、金属丝和聚乙二醇，其中：所述柔性微电极为采用聚合物薄膜作为衬底的三明治结构即聚合物薄膜‑金属‑聚合物薄膜结构，且所述柔性微电极一端部含有至少两个电极脚，每个所述电极脚上均含有至少两个电极点，所述电极点采用电镀进行表面修饰；所述金属丝与所述柔性微电极的电极脚利用聚乙二醇粘结；所述的制备方法的具体步骤如下：1)清洗基底；2)在基底上沉积聚合物薄膜；3)旋涂光刻胶并光刻图形化；4)溅射金属作为导电层；5)将上述4)处理后的基底置于丙酮中超声去除多余的金属；6)在基底上沉积聚合物薄膜；7)旋涂光刻胶并光刻图形化；8)采用反应离子刻蚀；9)浸泡在丙酮中，电极会逐渐从基底脱离；10)电极点电镀进行表面修饰；11)将聚乙二醇加热融化成无色透明液体，将金属丝浸入该液体中，取出排布到电极脚上，待自然冷却。