发明名称 METAL SHIELDING FOR ION IMPLANTED SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US3558366(A) 申请公布日期 1971.01.26
申请号 USD3558366 申请日期 1968.09.17
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. 发明人 MARTIN P. LEPSELTER
分类号 H01L21/00;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/316;H01L23/485;H01L23/58;(IPC1-7):H01L7/54 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址