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发明名称 METHOD OF DEPOSITING ZINC OXIDE FILMS ON DIELECTRIC SUBSTRATES BY ION SPUTTERING PROCESSES
摘要
申请公布号 PL138509(B2) 申请公布日期 1986.09.30
申请号 PL19840248739 申请日期 1984.07.12
申请人 发明人
分类号 C23C;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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