发明名称 METHOD OF VAPOR PHASE SYNTHESIS OF DIAMOND
摘要
申请公布号 JPH01305896(A) 申请公布日期 1989.12.11
申请号 JP19880134523 申请日期 1988.06.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KURIHARA KAZUAKI;SASAKI KENICHI;KAWARADA MOTONOBU;ETSUNO NAGAAKI
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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