| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR THIN FILM MATERIAL AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01308018(A) |
申请公布日期 |
1989.12.12 |
| 申请号 |
JP19880139896 |
申请日期 |
1988.06.07 |
| 申请人 |
NKK CORP;MIYASATO TATSURO;FURUKAWA MASASHI |
发明人 |
MIYASATO TATSURO;FURUKAWA MASASHI;ARAKI KENJI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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