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经营范围
发明名称
DEVICE CONVEYER FOR IC HANDLER
摘要
申请公布号
JPH02129565(A)
申请公布日期
1990.05.17
申请号
JP19880282525
申请日期
1988.11.10
申请人
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD
发明人
HIROKAWA HIDEO;KUWABARA ICHIRO;TAKEUCHI HIDEYUKI
分类号
G01R31/26;B23Q39/04;G01R31/00;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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