发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR EFFECTING FINE MOVEMENT BY IMPACT FORCE PRODUCED BY PIEZOELECTRIC OR ELECTROSTRICTIVE ELEMENT
摘要
申请公布号 EP0292989(A3) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 EP19880108499 申请日期 1988.05.27
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN 发明人 HIGUCHI, TOSHIRO FUJIGAOKA-MANSION 509;WATANABE, MASAHIRO
分类号 H01L41/09;H02N2/00;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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