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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04155851(A) 申请公布日期 1992.05.28
申请号 JP19900281206 申请日期 1990.10.19
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI SHUZO
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/30;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/312;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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