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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04294582(A) 申请公布日期 1992.10.19
申请号 JP19910059923 申请日期 1991.03.25
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SATO YASUO
分类号 H01L27/112;H01L21/8246 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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