| 发明名称 |
METHOD OF MEASURING MECHANICAL STRESS IN SILICIUM STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL290163(A1) |
申请公布日期 |
1992.11.16 |
| 申请号 |
PL19910290163 |
申请日期 |
1991.05.08 |
| 申请人 |
INST TECH ELEKTRONOWEJ |
发明人 |
KALBARCZYK JERZY;STOLARSKI EDWARD |
| 分类号 |
G01L1/14;G01L1/18;G01L1/20;H01L21/66;(IPC1-7):G01L1/14 |
主分类号 |
G01L1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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