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发明名称
METHOD FOR APPLYING A MICROSYSTEM OR A CONVERTER ON A SUBSTRATE, AND DEVICE MANUFACTURED ACCORDINGLY
摘要
申请公布号
EP0946861(A1)
申请公布日期
1999.10.06
申请号
EP19970946716
申请日期
1997.12.12
申请人
LABORATORIUM FUER PHYSIKALISCHE ELEKTRONIK
发明人
MAYER, FELIX;PAUL, OLIVIER
分类号
G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00;G01N27/12;G01N33/00
主分类号
G01L9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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