发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING DEVICES USING A SELECTIVE ETCHING TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP0956209(A1) 申请公布日期 1999.11.17
申请号 EP19980903608 申请日期 1998.01.21
申请人 THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK 发明人 MA, QIYUAN;CHEN, MINGLING
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):B44C1/22 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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