发明名称 WAFER TRANSFER
摘要
申请公布号 KR20070041963(A) 申请公布日期 2007.04.20
申请号 KR20050097662 申请日期 2005.10.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HAM, KYU HWAN
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址