发明名称 一种金刚石颗粒掺杂的热界面材料及其制备方法
摘要 本发明属于微电子材料技术领域,具体为一种金刚石颗粒掺杂的热界面材料及其制备方法,解决现有芯片和热沉间热界面材料已难以满足散热需求等问题。本发明所提供的材料由Sn、Bi、In、Ga等金属颗粒和金刚石颗粒混合制成,Sn、Bi、In等金属颗粒尺寸在20~80μm之间,其占有的体积分数为20~99%。金刚石颗粒尺寸在5~80μm,占有的体积分数为1~80%。通过上述颗粒状的金属和金刚石、有机载体均匀机械混合,制成用于连接发热元器件与散热器件的复合热界面材料。
申请公布号 CN101338181A 申请公布日期 2009.01.07
申请号 CN200710011959.5 申请日期 2007.07.04
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 杨启亮;陈新贵;郭建军;郭敬东;尚建库
分类号 C09K5/14(2006.01) 主分类号 C09K5/14(2006.01)
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人 张志伟
主权项 1.金刚石颗粒掺杂的热界面材料,其特征在于:由颗粒状金属和金刚石颗粒制成,金属颗粒尺寸在20~80μm之间,体积分数为20~99%;金刚石颗粒尺寸在5~80μm,体积分数为1~80%。
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