| 摘要 |
온도제어기능을 갖는 시편홀더장치, 이를 이용한 시편 열처리 및 표면분석 장치에 관하여 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 시편을 고정하며, 열처리챔버와 표면분석챔버 사이로 시편을 이송시키는 시편홀더장치로서, 상기 열처리챔버와 표면분석챔버 사이의 시편이송경로를 따라 이동하는 제1홀더몸체; 및 상기 제1홀더몸체에 상부에 고정되며, 상기 시편이 끼움 고정되는 시편고정홈을 구비하는 제2홀더몸체;를 구비하며, 상기 시편고정홈을 통해 고정된 상기 시편의 일면으로 적어도 하나의 써모커플이 구비되는 온도제어기능을 갖는 시편홀더장치를 제공한다. |
