Substratträger für flächige Substrate

摘要

Die Erfindung betrifft einen Substratträger für flächige Substrate, umfassend einen Grundträger und an dem Grundträger angeordnete Aufnahmemittel für das Substrat oder die Substrate sowie eine an einer Seite des Grundträgers entlang dieser Seite angeordnete Führungsstange zur Herstellung eines Reibschlusses mit einer Transporteinrichtung, wobei die Führungsstange an Verbindungspunkten mit dem Grundträger verbunden ist, und wobei die Führungsstange an mindestens einem Verbindungspunkt mittels eines Federelements mit dem Grundträger verbunden ist.