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发明名称
摘要
申请公布号 DE2145017(A1) 申请公布日期 1972.04.06
申请号 DE19712145017 申请日期 1971.09.09
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人
分类号 H01J37/252;H01J49/48;(IPC1-7):G01N21/52 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
主权项
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