| 发明名称 |
SCREENINGGOUT METHOD OF DEFECTIVE ELEMENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5360167(A) |
申请公布日期 |
1978.05.30 |
| 申请号 |
JP19760134066 |
申请日期 |
1976.11.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATOU AKIHIKO;OKAMURA SHINAYA;KOSONE TOORU |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/02;H01L21/301 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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