光阻组成物以及彼之产制方法

摘要

本发明提供一制法供产制一光阻组成物，其中相当大之不溶解微粒之含量在组成物产制之后降低且纵使组成物经长期间储存，相当大之不溶解微粒之含量只增加小程度。因此，本发明提供一制清供产制光阻组成物，其包含过滤一硷－可溶性树脂、辐射－敏化化合物与一溶剂之混合物其系藉使用孔隙直径为０．１微米或者较小且其行粒－移除性能系９９％或者以上之滤器。另外，本发明亦提供一光阻组成物，其包含一硷－可溶或树脂、辐射－敏化化合物与一有机溶剂且不同时具有乙醯氧基和烷氧基于其分子中，该组成物于１００微粒／毫升以下中所包含之未溶解微粒具有一微粒直行０．２５微米或以上，该未溶解之微粒系由两微粒群构成，其中之一（第一群）具有０．２５－０．３微米之微粒直径而另一群（第二群）具有微粒直径大于０．３行米，且该具有０．２５－０．３微米微粒直径之第一微粒群之含量系５０微粒／毫升或以下。根据本发明之制法，具有优异储藏安定性，等等之光袓组成物可被获得。藉使用该光阻组成物，在积体电路之生产上产物之良率可被改善。

主权项

1. 一种产制光阻组成物之方法,其包含过滤硷可溶性树脂、辐射敏化化合物与有机溶剂之混合物,其中硷可溶性树脂和辐射敏化化合物间之比为每100重量份之硷可溶性树脂有5至100重量份之辐射敏化化合物;此方法改良部份包括使用孔隙直径为0.1微米或更小且其移除率系99%或以上之滤器,该移除率系在喂入粒径0.1m之聚苯乙烯均匀乳胶微粒于该滤器之前及之后,使用微粒计数器,藉测量微粒数目而决定,该有机溶剂系不同时具有乙醯氧基和烷氧基于其分子中之溶剂,且该溶剂包含具有140-180℃沸点之溶剂为主要组成份。2. 如申请专利范围第1项之方法,其中具有140-180℃沸点之溶剂选自至少一种下列物质;具有10个或更少碳原子之直链酮、单氧基-羧酸C@ss1-C@ss4烷酯、单烷氧基-羧酸C@ss1-C@ss4烷酯、与丙酮酸C@ss1-C@ss4烷酯类。3.一种光阻组成物,其包含硷可溶性树脂、辐射敏化化合物与不同时具有乙醯氧基和烷氧基于其分子中之溶剂,具该溶剂包含具有140-180℃沸点之溶剂作为主要组成份,其系选自至少一种下列物质:具有10个或更少碳原子之直链酮,单氧基-羧酸C@ss1-C@ss4烷酯、单烷氧基-羧酸C@ss1-C@ss4烷酯、与丙酮酸C@ss1-C@ss4烷酯类,该组成物含有数量为100微粒/毫升或以下之未溶解微粒,该微粒具有一微粒直径0.25微米或以上,该未溶解之微粒系由两微粒群构成,其中之一(第一群)具有0.25-0.3微米之微粒直径而另一群(第二群)具有微粒直径大于0.3微米,且该具有0.25-0.3微米微粒直径之第一群之含量系50微粒/毫升或更少;其中硷可溶性树脂和辐射敏化化合物间之比为每100重量份之硷可溶性树脂有5至100重