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发明名称 POLYNORBORNENE NEGATIVE PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP0140319(B1) 申请公布日期 1991.01.02
申请号 EP19840112698 申请日期 1984.10.20
申请人 THE B.F. GOODRICH COMPANY 发明人 BENEDIKT, GEORGE MARTIN
分类号 G03F7/012 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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