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发明名称
Small field scanner
摘要
申请公布号
US5255051(A)
申请公布日期
1993.10.19
申请号
US19930000676
申请日期
1993.01.05
申请人
ETEC SYSTEMS, INC.
发明人
ALLEN, PAUL C.
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03B27/42;G03B27/32
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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