| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0659445(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920208932 |
申请日期 |
1992.08.05 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
SASAKI MAMORU;KATO KOJI;NUNOMURA MASATAKA;KOIBUCHI SHIGERU;KASUYA KEI;HASHIMOTO MICHIAKI;ISOBE ASAO |
| 分类号 |
C08L61/08;C08L61/04;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 |
主分类号 |
C08L61/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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