| 发明名称 |
POSITIVE RESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0659447(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920235354 |
申请日期 |
1992.08.11 |
| 申请人 |
NIPPON ZEON CO LTD |
发明人 |
KAWADA MASAJI;KUSUNOKI TETSUAKI;KASHIWAGI MOTOFUMI;FUJII TOSHIAKI |
| 分类号 |
G03F7/022;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 |
主分类号 |
G03F7/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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