| 发明名称 |
THIN FILM ELECTRODE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0855911(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
| 申请号 |
JP19940188192 |
申请日期 |
1994.08.10 |
| 申请人 |
KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI KENJI;OOHAYASHI TADASHI |
| 分类号 |
H01L27/146;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L27/146 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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