发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10340910(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970149053 申请日期 1997.06.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MATSUI YASUSHI
分类号 H01L29/41;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/824 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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