发明名称 |
Reflexionselektronenmikroskop |
摘要 |
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申请公布号 |
DE19647975(C2) |
申请公布日期 |
2000.02.10 |
申请号 |
DE19961047975 |
申请日期 |
1996.11.20 |
申请人 |
FOCUS GMBH GERAETE ZUR ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE UND OBERFLAECHENANALYTIK |
发明人 |
GRZELAKOWSKI, KRZYSTOP |
分类号 |
H01J37/04;H01J37/244;H01J37/29;(IPC1-7):H01J37/29 |
主分类号 |
H01J37/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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