发明名称 Reflexionselektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE19647975(C2) 申请公布日期 2000.02.10
申请号 DE19961047975 申请日期 1996.11.20
申请人 FOCUS GMBH GERAETE ZUR ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE UND OBERFLAECHENANALYTIK 发明人 GRZELAKOWSKI, KRZYSTOP
分类号 H01J37/04;H01J37/244;H01J37/29;(IPC1-7):H01J37/29 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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