| 摘要 |
<p>목적: 드라이 에칭 공정을 행하는 프로세싱 챔버 내에 구비된 상부 전극의 마모에 따른 교체 작업을 손쉽게 할 수 있는 드라이 에칭 챔버의 상부 전극을 제공한다. 구성: 드라이 에칭을 위한 챔버 설비의 상부 전극에 있어서, 다수의 가스 분사홀이 형성된 내측 상부 전극과, 상기 내측 상부 전극이 중앙홀로 삽입되는 링 형상의 몸체로 이루어진 외측 상부 전극으로 구성되어, 상기 내측 상부 전극만을 별도로 교체할 수 있게 한다. 상기의 구성에서, 상기 내측 상부 전극과 외측 상부 전극은 그 표면을 애노다이징 코팅 처리하여 구성하되, 상기 내측 상부 전극과 외측 상부 전극 간의 접촉부는 도전 가능한 비코팅부로 형성한다. 효과: 설비의 보수 작업 및 부품 교체시에 내측 상부 전극 만을 해체하면 되므로, 폴리머의 축적 및 마모 등으로 인한 부품 교체시에 하나의 몸체로 된 상부 전극 전체를 교체하던 종래에 비해, 작업자의 노고가 경감되며, 작업 시간을 단축하여 설비 가동시간을 향상시켜 생산성을 증대시킬 수 있고, 아울러 설비의 유지 보수에 필요한 부품 공급 및 인력 투입에 소요되는 비용을 절감할 수 있다.</p> |
