发明名称 VAPOR SOURCE FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20010032659(A) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 KR1020007005938 申请日期 2000.05.31
申请人 发明人
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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