在导向套筒和其内表面形成硬质碳膜的方法

摘要

本发明旨在装于自动车床的导向套筒与被加工件滑动连接的内表面上形成硬质碳膜。本发明将导向套筒放置于真空槽中，利用等离子体ＣＶＤ法在其内表面上形成氢化非晶碳的硬质碳膜。此时，在够成导向套筒内表面的中心开口中，将前端比其它部分细的台阶型的棒状或在其前端部有前部细的锥形部分的棒状的辅助电极插入，使其前端部或锥形部的前端位于导向套筒上述开口端附近的位置，该辅助电极可以接地也可以在其上加上直流正电压。

主权项

1．一种导向套筒，该导向套筒在轴方向具有中心开口且大体为圆筒状，其一端的外周为锥面，具有和被加工件滑动接触的内表面和开槽；当装在自动车床上时，插入上述中心开口的被加工件在其保持作用下可以在切削工具附近旋转并沿轴的方向滑动；其特征在于：在和上述被加工件滑动接触的内表面形成氢化非晶碳的硬质碳膜，在该内表面开口端附近硬质碳膜的厚度比内部要厚。