摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen magnetischer Tunnelkontakte, bei dem eine Metallschicht auf eine erste ferromagnetische Schicht aufgebracht wird, und die Metallschicht oxidiert wird, wobei die Metallschicht durch das Aufbringen mehrerer Teilschichten aufgebracht wird, und nach dem Aufbringen einer Teilschicht eine Oxidation erfolgt. Die Erfindung betrifft ferner einen magnetischen Tunnelkontakt mit einer ersten ferromagnetischen Schicht und einer auf der ersten ferromagnetischen Schicht angeordneten oxidierten Metallschicht, wobei die oxidierte Metallschicht mehrere sequentiell oxidierte Teilschichten aufweist.</p> |