微影叠对之混合并匹配控制之方法

摘要

径向基底网路拥有快速学的优点，其利用函数逼近的方式找出输入/输出之间的映射关系。在微影制程的应用上，为了分离晶圆的不可控误差，因此将其调整为混合式类神经网路，如此可求得微影设备上可调整之误差项的参数解，并且由此建立个别微影设备上的叠对误差特征。之后，再藉由田口式基因演算法选取微影设备上的最佳可控制参数值，让需调整的微影设备能增加与标准图形或标准设备之间的叠对误差相似度，使其在混合并可匹配的生产环境中，能降低因叠对误差而产生的良率下降或排程问题。