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发明名称 DEPOSITION APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR100784381(B1) 申请公布日期 2007.12.11
申请号 KR20040057760 申请日期 2004.07.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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