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发明名称 MATERIALVERDAMPFUNGSKAMMER MIT DIFFERENTIALVAKUUMPUMPE
摘要
申请公布号 DE60317510(T2) 申请公布日期 2008.09.11
申请号 DE2003617510T 申请日期 2003.06.18
申请人 RIBER 发明人 CHAIX, CATHERINE;JARRY, ALAIN BATIMENT C;NUTTE, PIERRE-ANDRE;LOCQUET, JEAN-PIERRE;FOMPEYRINE, JEAN;SIEGWART, HEINZ
分类号 C23C14/24;H05B1/00;C23C14/00;C23C14/56;C30B23/02;C30B35/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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