薄膜トランジスタ及びその製造方法、アレイ基板、ディスプレイ

摘要

本発明は、従来の薄膜トランジスタのオン電流が低く、性能が不安定な問題を解決できる薄膜トランジスタ及びその製造方法、アレイ基板、ディスプレイを提供し、薄膜トランジスタの技術領域に属する。本発明の薄膜トランジスタは、ソース電極（３）、ドレイン電極（４）、半導体層（１）、ゲート電極（２）、ゲート絶縁層（２１）を備えるとともに、前記半導体層の表面に設けられ、互いに間隔をあけるソース導電層（３１）及びドレイン導電層（４１）を備え、前記ソース導電層がソース電極に接続され、前記ドレイン導電層がドレイン電極に接続され、且つ前記ソース導電層とドレイン導電層との間の最小距離は、前記ソース電極とドレイン電極との間の最小距離より小さい。薄膜トランジスタの製造方法は、ソース導電層及びドレイン導電層を形成するステップを備える。アレイ基板及表示装置は上述した薄膜トランジスタを備える。