| 摘要 |
본 발명은, 원통형이면서 용기 형상인 머플 내부에 구비되는 도가니와, 상기 머플 외부 측면에 원통형으로 구비된 측면 히터 및 상기 도가니 하부 혹은 머플 하부에 구비된 원판형의 하부 히터가 구비되고, 상기 측면 히터 외부에 원통형의 단열벽이 구비되며, 상기 도가니 내부에서는 석영 분말을 용융하여 석영 유리를 만들 때, 상기 머플 상부에 배기구가 연결되며, 상기 배기구를 통하여 진공 펌프가 진공을 만들고, 상기 도가니에서 석영 유리 분말을 용융할 때에는 진공 상태가 되며, 상기 진공 펌프와 배기구 사이에 필터가 더 구비되므로서, 고순도 투명 석영 유리를 불순물에 오염시키지 않고 생산성도 양호한 제조 장치를 제공하여, 불순물을 각각 5ppm 이하로 억제 할 수 있고, 석영 분말을 용융하는 과정에서도 안정된 온도구배를 유지하며, 또한 석영 용융물 내에 기포 발생을 줄일 수 있도록 하므로서 균일성이 높은 석영 유리를 제조할 수 있게 된다. |
