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发明名称
摘要
申请公布号	DE2015333(A1)	申请公布日期	1970.10.08
申请号	DE19702015333	申请日期	1970.03.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/00;H01L21/265;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/54	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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