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发明名称 DEVICE FOR COOLING POWER SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 SU1261029(A1) 申请公布日期 1986.09.30
申请号 SU19843719957 申请日期 1984.04.02
申请人 INST TEPLO- MASSOOBMENA IM.A.V.LYKOVA 发明人 RABETSKIJ MIKHAIL I,SU;VASILEV LEONARD L,SU;KISELEV VLADIMIR G,SU;BOGDANOV VLADIMIR M,SU;BABENKO VALERIJ A,SU
分类号 H01L23/34 主分类号 H01L23/34
代理机构 代理人
主权项
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