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发明名称 THERMOSTABLE POLYMER SYSTEM, CROSS-LINKABLE BY IRRADIATION, FOR MICROELECTRONIC USE
摘要
申请公布号 DE3570931(D1) 申请公布日期 1989.07.13
申请号 DE19853570931 申请日期 1985.08.05
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 BUDDE, KLAUS, DR. RER. NAT.;KOCH, FRIEDRICH, ING. GRAD.;QUELLA, FERDINAND, DR.-ING.
分类号 (IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10 主分类号 (IPC1-7):G03C1/68
代理机构 代理人
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